傳感技術的發展經歷了三個階段,即結構型傳感器、物性型傳感器和智能型傳感器。
(1)結構型傳感器以其結構部分變化或結構部分變化后而日I起某種場的變化來反映被測量的大小及變化。經常使用的方法是以傳感器機構的位移或力的作用使傳感器產生電阻、電感或電容等值的變化來反映被測量的大小。
(2)物性型傳感器利用構成傳感器的某些材料本身的物理特性在被測量的作用下發生變化,從而將被測量轉換為電信號或其他信號輸出。例如,利用半導體材料在熱輻射照射下會產生各種光效應的特性可制成光敏電阻、光敏三極管等光敏元件。利用二氧化錫材料在某些氣體作用下,其阻值會發生變化的特性可以制成氣敏元件。由于物性型傳感器無可動部件,靈敏度高,因此,可減少對被測對象的影響,從而能解決結構型傳感器不能解湊的某些參數及非接觸測量的問題,擴大了傳感器應用領域。
(3)智能型傳感器把傳感器與微處理器地結合成一個高度集成化的新型傳感器。它與結構型、物性型傳感器相比.能瞬時獲取大量信息,對所獲得的信息還具有信號處理的功能,使信息的質量提高,其功能也擴展了。以網絡化智能傳感器為例,它以嵌入式微處理器為核心,集成了傳感單元、信號處理單元和網絡接口單元,使傳感器由單一功能、單一檢測向多功能和多點檢測發展;從被動檢測向主動進行信息處理方向發展;從孤立元件向系統化、網絡化發展;從就地測量向遠距離實時在線測控發展,它已成為傳感器技術發展的主要方向之一。